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超純水設(shè)備的生產(chǎn)過程中,水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法
在超純水設(shè)備的生產(chǎn)過程中,水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除,水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的細(xì)菌,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應(yīng)用領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性,因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。
什么是純水設(shè)備?一、特點
什么是純水設(shè)備?特點 1.純水設(shè)備體型小,使用方便、非常容易維護(hù)保養(yǎng),適應(yīng)能力強,使用期長。 2.耗能小,水使用率高,運作花費小于其他除鹽機器設(shè)備。 3.對有機化合物,膠體溶液、顆粒、病菌、病毒、熱原等有很高的截流除去功效。 4.透水流量大,水的電導(dǎo)率高。通常情況下≥98%。 5.分離出來全過程沒有改變,具備靠譜可靠性。
從學(xué)術(shù)角度講,高純水又叫超純水,是指化學(xué)程度極高的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用罪普遍的還是電子行業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的高純水,要求各雜質(zhì)含量低到“微克/升”級。在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子元器件的生產(chǎn)工藝而定,但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝實驗得到的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過近年來電子級水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂中,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為:GB1146.1-89至GB1146.11-89【168】,目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級水分為五個等級:一級、二級、三級、四級、五級,該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)定的。