結構特點（1)泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重l心較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重l心低，高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

關于羅茨真空泵的性能特點

1、羅茨真空泵噪音低、風機進、排氣口采用螺旋形狀，使進、排風過程按螺旋線的方向循序切入，避免了舊式羅茨鼓風機排風時瞬間爆發(fā)的脈動噪音和振動。

2、啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效l率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風機風機轉子、機殼、墻板、軸等關鍵零件，均采用先進的控加工設備，使零部件的互換性提高。

4、振動小。盡管轉子經(jīng)過精密加工，已成平衡狀態(tài)，但仍采用高l精度的動平衡設備進行平衡。

5、絕熱效率和容積效l率高，因而節(jié)能。羅茨風機轉子采用先進的復合曲線，嚙合更加合理，并且增大了容積效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪，不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長，還有效降低了噪音。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節(jié)約了運行成本，提高了利潤率。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集