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發(fā)布時間:2020-10-29 05:08  






無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功,現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建,后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

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無塵車間--對鋪設(shè)場地的要求:

  1、地板的鋪設(shè)應(yīng)在室內(nèi)土建及裝修施工完畢后進(jìn)行;

  2、地面應(yīng)平整、干燥、無雜物、無灰塵;

  3、地板下可使用空間,布置敷設(shè)電纜、電路、水路、空氣等管道及空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在安裝地板前施工完畢;

  4、大型重設(shè)備基座固定應(yīng)完工,設(shè)備安裝在基座上,基座高度應(yīng)同地板上表面完成高度一致;

  5、施工現(xiàn)場備有220V/50HZ電源及水源。



潔凈室節(jié)能的幾個方法

10萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)一:塵粒大的允許數(shù)大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個,大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個。

塵粒無處不在,侵蝕風(fēng)化產(chǎn)生的,人體自然散發(fā)的,數(shù)不勝數(shù),嚴(yán)重干擾電子光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)。此外,塵粒是病毒的良好的載體,也影響了食品的加工。凈化車間工程的首要任務(wù)便是“除塵”。

0.5微米是什么概念?一根頭發(fā)絲的直徑約為70~100微米,大小約為1微米~2微米,通過凈化空氣系統(tǒng),使大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個,潔凈度非常高。

10萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)二:微生物大的允許數(shù),浮游菌數(shù)不得超過500個每立方米;沉降菌數(shù)不得超過10個每培養(yǎng)皿。

微生物包括病毒、單細(xì)胞生物等,凈化車間工程著重考察浮游菌和沉降菌兩個指標(biāo)。在做沉降菌檢測時,須有特殊的培養(yǎng)皿,每個培養(yǎng)皿內(nèi)放置由特定的營養(yǎng)物質(zhì),在車間放置一段時間,根據(jù)營養(yǎng)物質(zhì)中生長的數(shù)量,便可測算出空氣中沉降菌的數(shù)量。















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