3M氟化液FC-40是無(wú)色透明全氟化學(xué)品，具有良好的化學(xué)惰性、電氣絕緣性能、熱傳導(dǎo)性和獨(dú)特的第表面張力廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測(cè)試設(shè)備及其他設(shè)備。因?yàn)镕C-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過(guò)期。FC-40沸點(diǎn)高，其隨時(shí)間的揮發(fā)也比較少。

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沉積用的溶劑 　　

3M Novec7100電子氟化液具有低黏度及低表面張力的特性，所以3M Novec7100電子氟化液具有高潤(rùn)濕性與易流動(dòng)的性能，其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類(lèi)似。因此，3M Novec7100電子氟化液對(duì)全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑劑，能有效的溶解制程中所需之添加物。

氟溶劑的特征

全氟溶劑的密度大于普通有l機(jī)溶劑, 沸點(diǎn)范圍大, 是一種高密度, 無(wú)色無(wú)毒, 具有高度熱穩(wěn)定性的液體, 其特征是低折射率, 低表面張力和低介電常數(shù)。全氟溶劑是氣體的極l好溶劑,能溶解大量的氫氣, 氧氣, 氮?dú)夂投趸嫉? 但對(duì)于普通有l機(jī)溶劑和有機(jī)化合物溶解性卻很差