過(guò)濾器安裝前必須對(duì)潔凈房間和凈化空調(diào)系統(tǒng)清掃、擦洗，達(dá)到清潔要求后，開(kāi)啟凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)試運(yùn)行12小時(shí)以上，再次清掃，擦洗潔凈室，立即安裝過(guò)濾器。

 過(guò)濾器安裝前，應(yīng)在安裝現(xiàn)場(chǎng)拆開(kāi)包裝進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容包括紙、濾密封膠、框架、幾何尺寸及光潔度等是否符合設(shè)計(jì)要求，然后進(jìn)行檢漏，檢查和檢漏合格后應(yīng)立即安裝。不合格產(chǎn)品不得安裝。

凈化車(chē)間怎樣做好設(shè)備選型呢？

在凈化車(chē)間選型設(shè)計(jì)時(shí)會(huì)充分考慮（cider)工藝上的要求，選用的設(shè)備能與生產(chǎn)(Produce)規(guī)模相適應(yīng)，并應(yīng)獲得單位產(chǎn)量；操作可靠、降低（reduce)勞動(dòng)強(qiáng)度（strength)、提高勞動(dòng)生產(chǎn)率(productivity)；有合理的溫度、壓強(qiáng)、流量(單位:立方米每秒)、液位的檢測(cè)、控制（control)系統(tǒng)；能改善環(huán)境保護(hù)；能適應(yīng)產(chǎn)品品種變化的要求，并確保產(chǎn)品質(zhì)（Character)量。凈化車(chē)間制藥工藝生產(chǎn)中允許把不成熟或未經(jīng)生產(chǎn)考驗(yàn)的設(shè)備用于設(shè)計(jì)之中，同時(shí)設(shè)備選型的材質(zhì)方面也要求充分可靠，對(duì)生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備，一定要到設(shè)備的使用工廠去考察，在調(diào)查研究（research)和對(duì)比分析的基礎(chǔ)上，做出科學(xué)的決定。

凈化車(chē)間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車(chē)間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車(chē)間為集成電路制造必不能少的因素。