氣流組織：

一、十萬(wàn)級(jí)潔凈車間主要采用的送風(fēng)方式：1、局部孔板頂棚送風(fēng) ；2、帶擴(kuò)散板空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)；3.上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。

二、十萬(wàn)級(jí)潔凈車間主要采用的回風(fēng)方式：1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口；2、當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部集中設(shè)置回風(fēng)口 。

三、送風(fēng)口風(fēng)速（米/秒)：1.孔板孔口3～5； 2、側(cè)送風(fēng)口：⑴貼附射流2～5 ；⑵非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5～2.5，對(duì)側(cè)墻下部回鳳1.0～1.5 。

四、回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒)：1、潔凈室回風(fēng)口不大于 2；2、走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4。

潔凈室檢測(cè)之靜電檢測(cè)與驗(yàn)收

1.于無(wú)塵室內(nèi)離地 32 英吋 (813 mm) 處，測(cè)量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測(cè)量點(diǎn)數(shù)： 10 個(gè)，或由業(yè)主自己決定。在同一位置做殘余電壓測(cè)試。  

1、天棚和墻、柱面裝飾工程在完成后應(yīng)按電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694規(guī)定方法和下列項(xiàng)目進(jìn)行性能檢測(cè)：

A.天棚和墻、柱面裝飾的罩面板必須選用靜電耗散材料制成，罩面板的表面電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×1010Ω，一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×108Ω，二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×109Ω。一般抹灰墻面或罩面板使用非靜電耗散材料制成，其表面必須涂刷防靜電涂層，涂層材料應(yīng)符合靜電耗散材料性能標(biāo)準(zhǔn)。

潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分

1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。

3、有條件時(shí)可將 4 級(jí)、5 級(jí)單向流和 6 級(jí)、7 級(jí)、8 級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。

5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

潔凈室的分類：

按氣流流型潔凈室可劃分為：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰?；非單向流潔凈室；混合流潔凈室；矢流潔凈室。單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳎▽恿鳎崈羰?，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。按潔凈室主要控制?duì)象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室；生物潔凈室。工業(yè)潔凈室：工業(yè)潔凈室主要的控制對(duì)象是灰塵粒子（不分有生命的、無(wú)生命的）。工業(yè)潔凈室主要應(yīng)用在電子、航天、航空、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術(shù)。