廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過大量的研究，現(xiàn)代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳?xì)浠衔?。返流有兩個不同性質(zhì)的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結(jié)構(gòu)的改進，使主要返流大大降低。

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擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達到抽氣目的。

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現(xiàn)代的油擴散泵在泵入口處，iGX100L半導(dǎo)體真空泵維修，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。

只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程，才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機械泵、擴散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實踐，對排氣系統(tǒng)，也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例（其他真空設(shè)備可仿照施行），其操作規(guī)程如下：①檢查真空系統(tǒng)各部分，熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu)，了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。②關(guān)閉放氣閥門，啟動機械泵，iGX100L半導(dǎo)體真空泵維修，對系統(tǒng)進行抽氣，并隨時用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進行檢漏。如系全金屬系統(tǒng)，則可關(guān)閉閥門，用真空計讀數(shù)記下P-t曲線（作靜態(tài)升壓試驗）。如壓強隨時間呈直線上升，iGX100L半導(dǎo)體真空泵維修，可斷定系統(tǒng)有漏氣源，應(yīng)進行檢漏。③當(dāng)系統(tǒng)真空度達到油擴散泵的前置壓強（5×10-2托）后，啟動擴散泵，使加熱電流逐漸升到額定（佳）值。在啟動擴散泵前，必須先開冷卻水。④擴散泵正常工作后，用火花檢漏器（或熱偶計）判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上（熱偶計近滿偏或95格以上）才能使用電離真空計。使用時先對規(guī)管除氣，后測量真空度。

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