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基于彈性力學和有限元理論，對多場耦合作用下渦旋盤的變形和應力分布進行了分析，漳州iGX600M半導體真空泵，得到了渦旋盤穩(wěn)態(tài)溫度場的分布，研究了氣體力，溫度場和慣性力在單獨作用以及耦合作用時動渦旋的變形及應力情況.研究結果顯示:渦旋盤的溫度場分布由排氣腔向邊緣遞減;溫度載荷的施加對變形趨勢沒有影響，僅僅使變形量增加;氣體力，iGX600M半導體真空泵維修，溫度場單獨作用時

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采用結構化設計和模塊化編程對該裝置測試系統(tǒng)進行軟件編程和信號分析，主要包括對曲軸轉子和曲柄銷的振動，動靜渦盤接觸端面摩擦力，iGX600M半導體真空泵維修，動靜渦盤端面摩擦溫度測試模塊的編程和分析.結果表明，該試驗平臺實現了對渦旋壓縮機各參數信號的采集，處理，顯示和存儲等功能，從而可對轉子運動狀態(tài)，渦盤摩擦力大小及渦盤溫度狀況進行實時監(jiān)測，

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為了提高無油渦旋壓縮機軸向間隙的密封性能，以渦旋齒頂的聚四氟乙烯密封條為研究對象，對其進行有限元分析.利用三維建模軟件建立了密封條和渦旋齒的幾何模型，導入有限元軟件中進行網格劃分.通過齒頂密封模型的受力分析，詳細闡述了邊界載荷的計算依據，分析了密封條沿漸開線展開角方向的底面和側面氣體力載荷變化規(guī)律.設定了密封條的邊界條件，對密封條模型進行有限元分析.計算結果表明，借助有限元技術可以獲得不同曲軸轉角時密封條的應力，變形分布規(guī)律，更好地掌握了密封條的工作性能，為密封條的設計提供了新方法.

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