我國的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初，益陽PCR實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)施工，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀(jì)70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。

    在無塵車間的選址上要符合無塵車間的要求，可以方便企業(yè)進(jìn)行出產(chǎn)活動，并且考慮到資源的便捷和出資的金額。有車間就觸及到有工人日子，因而將地址選在方便日子和水質(zhì)條件好的當(dāng)?shù)?，遇到周圍有污染源?yīng)該要提早考慮到危害性。車間內(nèi)有許多的通道和線路需求提早設(shè)定好，防止因?yàn)橛|及的缺陷在后期運(yùn)用的時分產(chǎn)生，可以將人行路途和車道別離設(shè)定，裝備合理的線路和管道，無塵車間裝飾要對將來的運(yùn)用有效果，可以帶給企業(yè)愈加便捷的操作流程才是合理的規(guī)劃。

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