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1、電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過電橋電路來測(cè)量真空度的真空計(jì)。
2、麥克勞真空計(jì)
也成為壓縮式真空計(jì),將待測(cè)的氣體用(或油)壓縮到一體積,新余水環(huán)式真空泵,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種真空計(jì)。
3、電容薄膜真空計(jì)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測(cè)量下限,可測(cè)超高真空。電容薄膜真空計(jì)將三種不同的規(guī)管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中,測(cè)量過程壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng)從5x10-10至1500毫巴。
電容薄膜真空計(jì)由于具有測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測(cè)量結(jié)果與氣體成分無關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點(diǎn),水環(huán)式真空泵品牌,因而越來越受到人們的重視。以它取代壓力計(jì)、油壓計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)以至部分地取代電離計(jì)。
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