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高純供氣系統(tǒng)
集中供氣系統(tǒng)需要規(guī)劃設計一個獨立的氣瓶室,根據實驗室的布局和用氣情況在實驗室的每層或幾層設置一個氣瓶室,也可在實驗室外部設計一個為整個實驗室供氣的氣瓶室,鋼瓶儲存區(qū)應合理布置,保持可燃性容器和助燃性容器間的安全間距。氣瓶室墻宜采用實體結構,門應設計為防爆門,安裝防爆燈以及防爆風機,萬一發(fā)生事故可減少實驗室區(qū)域的破壞性。存放鋼瓶屋內不宜吊頂。氣瓶室內還應設有氣體泄漏、低壓換氣報警設施,高純供氣廠家,及排風裝置,同時設計時還應考慮防雷、防靜電、空調設備等設施。為了保證氣體純度和壓力的穩(wěn)定性,需采用多級減壓方式供氣,宜設置氣路吹掃、排空、雜質過濾、水分和油汽凈化等裝置,有條件的可采用雙氣源自動切換模式供氣。
特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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特氣系統(tǒng)知識分享:標準氣體
所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。
標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域對標準氣體的需求量相對較大。
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