真空鍍膜系統(tǒng)

工藝氣體輸入系統(tǒng)

工藝氣體，如氣(Ar)、氣(Kr)、氮氣(N2)、(C2H2)、(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供應(yīng)，經(jīng)氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥，真空鍍膜價格，然后通入真空室。這種氣體輸入系統(tǒng)的優(yōu)點是，管路簡捷、明快，維修或更換氣瓶容易。各涂層機之間互不影響。也有多臺涂層機共用一組氣瓶的情況，這種情況在一些規(guī)模較大的涂層車間可能有機會看到。它的好處是，減少氣瓶占用量，統(tǒng)一規(guī)劃、統(tǒng)一布局。缺點是，由于接頭增多，使漏氣機會增加。而且，各涂層機之間會互相干擾，一臺涂層機的管路漏氣，有可能會影響到其他涂層機的產(chǎn)品質(zhì)量。此外，更換氣瓶時，必須保證所有機臺都處于非用氣狀態(tài)。

如何選擇真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商

抽真空系統(tǒng)，目前基本是兩種，一種是擴散泵系統(tǒng)，一種是分子泵系統(tǒng)，分子泵系統(tǒng)屬于清潔抽氣系統(tǒng)，沒有擴散泵的返油現(xiàn)象，真空鍍膜哪里有，抽速也相對比較穩(wěn)定，而且比較省電，電費的支出是鍍膜企業(yè)生產(chǎn)運營成本中很大的一環(huán)。對于泵系統(tǒng)的定期維護是很重要的，特別是潤滑油的定期更換，注意油品牌號的選擇，選擇錯誤很容易損壞真空泵。

真空鍍膜系統(tǒng)

電子束蒸發(fā)源蒸鍍法

將蒸發(fā)材料放入水坩鍋中，直接利用電子束加熱，使蒸發(fā)材料氣化蒸發(fā)后凝結(jié)在基板表面成膜，是真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。電子束蒸發(fā)克服了一般電阻加熱蒸發(fā)的許多缺點，特別適合制作熔點薄膜材料和高純薄膜材料。

依靠電子束轟擊蒸發(fā)的真空蒸鍍技術(shù)，根據(jù)電子束蒸發(fā)源的形式不同，又可分為環(huán)形，直，真空鍍膜，e型和空心陰極電子等幾種。

環(huán)形是由環(huán)形的陰極來發(fā)射電子束，真空鍍膜系統(tǒng)，經(jīng)聚焦和偏轉(zhuǎn)后打在坩鍋內(nèi)使金屬材料蒸發(fā)。它的結(jié)構(gòu)較簡單，但是功率和效率都不高，基本上只是一種實驗室用的設(shè)備，目前在生產(chǎn)型的裝置中已經(jīng)不再使用。

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