油擴散泵在真空鍍膜機中的作用

油擴散泵：機械泵的極限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。

油擴散泵的應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。

擴散泵底部內(nèi)儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側(cè)旁下部為出氣口，真空鍍膜多少錢，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。

當擴散泵的油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽沿著導流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結，真空鍍膜，重復循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的。

由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由于射流具有高的流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界面內(nèi)，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面，擴散進入射流中，被帶往出口處，在出口處再由機械泵抽走。

擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要好。

由于油擴散泵是無法有返油的幾率，那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的100％純凈，特別是半導體行業(yè)，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空系統(tǒng)，冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔，保證產(chǎn)品的質(zhì)量（避免產(chǎn)品被污染、增強膜層與基板之間的附著力），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。

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真空度對真空鍍膜有什么重大影響

真空鍍膜行業(yè)由于其鍍膜工藝，需要抽真空，因此都連接了真空系統(tǒng)，真空泵因此大量應用于真空鍍膜行業(yè)，真空鍍膜報價，真空泵過濾器也具有大量需求。

真空鍍膜過程中，使用的真空度一般要求在10的負3次方上下，真空度是真空鍍膜時務必嚴格管理的指標值之一，真空鍍膜公司，它對鍍膜產(chǎn)品的顏色、耐磨性能、堅固度有非常重要的關聯(lián)。

真空鍍膜系統(tǒng)

真空度相對來說比較穩(wěn)定，但是也會受到一些因素的影響，比如大氣壓，但是安裝真空泵過濾器是不會對真空度產(chǎn)生影響。

關鍵對鍍膜加工工藝的危害，不管哪些鍍膜方法，真空度越高亦意味著爐內(nèi)含有的雜氣分子越少，那樣鍍膜膜層成份就更趨于你要想的占比，簡易的說便是純凈度及結晶體情況更具精密性。

另外，針對鍍膜而言，都有加溫這一基本步驟，較高的真空度能夠避免板材表層空氣氧化或滲氮，對結合性有非常大的協(xié)助。

真空鍍膜工藝對真空泵的要求較高，同時，對真空泵過濾器也具有較高要求，因此推動真空泵過濾器的發(fā)展進步。

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