邊緣曝光裝置，圓弧面曝光顯影工藝，用于對基板的邊緣進(jìn)行曝光；

顯影裝置，用于對曝光后的基板進(jìn)行顯影，該邊緣曝光裝置位于該顯影裝置的入口處；

其中，該基板在被輸送至該顯影裝置的過程中，被該邊緣曝光裝置進(jìn)行邊緣曝光。

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下料：要求毛料尺寸一般要大于制版尺寸（5mm以上），圓弧面曝光顯影廠商，板面平整光滑，無坑凹。

水封閉：將處理好的板子，經(jīng)去油、除膜后、迅速浸入水中不可和空氣接觸。

打膠：膠液的配置。膠：200-230克水：1000ml，沸水煮2小時使膠液充分溶解，使溫度降至30-50℃時加入光敏劑（重酪酸銨）25-30克后將膠液均勻的涂布在金屬板上，烘干待用。

現(xiàn)有的曝光機(jī)對基板的主體部分進(jìn)行曝光，但是基板的邊緣，圓弧面曝光顯影廠家，特別是基板相對的兩長邊(在光阻涂布的起始端與末端位置)較容易形成光阻殘留，從而導(dǎo)致后段部件所需要用到的對位圖案被遮住，佛岡圓弧面曝光顯影，造成基板報(bào)廢。為了解決此問題，現(xiàn)在普遍的做法為在主體曝光完成后增加一個邊緣曝光的工藝，其主要功用為防止靜電的產(chǎn)生及后段框膠貼附的質(zhì)量，另一個功用就是去除基板四周的不必要的殘留。

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