曝光不足，導(dǎo)致單體聚合不，那么在顯影過程中，會使的膠膜變軟，線條不清晰，保溫杯曝光顯影定制，色澤暗淡，脫膠。曝光過度，會造成難顯影，留有殘膠。同時曝光影響圖案的線寬，過量曝光會使圖形線條變細，盡管對193i負膠的研發(fā)已經(jīng)傾注了很大的努力，但是其性能仍然與正膠有比較大的差距，所以提出負顯影（Negative Tone Develop，NTD）。用負顯影工藝可以實現(xiàn)較窄的溝槽，負顯影工藝已經(jīng)被廣泛用于20納米及以下技術(shù)節(jié)點的量產(chǎn)中


將顯影液涂覆在曝光后的晶圓表面上，正膠的曝光區(qū)域和負膠的非曝光區(qū)域溶于顯影液中，保溫杯曝光顯影廠家，進一步將反應(yīng)聚合物和顯影液殘留沖洗后，保溫杯曝光顯影加工，就可以顯現(xiàn)出光刻膠中的圖形，顯影噴淋（developer dispense）：在硅片表面涂覆顯影液。為了將顯影液均勻地涂覆到硅片表面上，顯影噴嘴分為以下幾種：E2噴嘴，LD噴嘴，GP噴嘴，三水保溫杯曝光顯影，MGP噴嘴等。保溫杯曝光顯影保溫杯曝光顯影保溫杯曝光顯影保溫杯曝光顯影


曝光顯影是一種攝影術(shù)語，它是指將感光材料（如膠片、電影膠片或者數(shù)字攝像機中的傳感器）通過曝光的方式記錄下光影信息，再通過顯影的方式將光影信息制成可視的影像的過程。將顯影液涂覆在曝光后的晶圓表面上，正膠的曝光區(qū)域和負膠的非曝光區(qū)域溶于顯影液中，進一步將反應(yīng)聚合物和顯影液殘留沖洗后，就可以顯現(xiàn)出光刻膠中的圖形，


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