FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應用系統(tǒng)中，F(xiàn)SCU 可通過觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統(tǒng)控制國內(nèi)外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進行轉(zhuǎn)換，從而實現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制，實現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動功能。

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程， 在工作的過程當中， 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降， 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa，氣體質(zhì)量流量計控制單元， 若壓差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時， 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓， 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，氣體質(zhì)量流量計控制單元多少錢， 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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體積流量的表示方法

對多數(shù)用戶而言，氣體質(zhì)量流量計控制單元公司，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說，在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國內(nèi)計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）， 但是它符合國際半導體協(xié)會制定的SEMI。

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