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真空鍍膜機的詳細結構
高真空鍍膜機,鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的設備。其相關組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng).
一、真空主體——真空腔
根據(jù)加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng)
此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成
排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分,真空鍍膜哪里有,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛,本文主要介紹)四種類型。
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真空鍍膜系統(tǒng)
機械傳動部分
涂層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在涂層過程中須有三個轉動量才能滿足要求。即在要求大工件臺轉動(I)的同時,浙江真空鍍膜,小的工件承載臺也轉動( II),并且工件本身還能同時自轉(III)。在機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍是一些小的星行輪與之嚙合,如果要實現(xiàn)產品自轉的話,一般用撥叉撥動工件自轉。
真空鍍膜系統(tǒng)
真空室
涂層設備主要有連續(xù)涂層生產線及單室涂層機兩種形式,不銹鋼材料制造、弧焊接、表面進行化學拋光處理,真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口。
真空獲得部分
在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分。真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的,必須將幾種泵聯(lián)合使用,如機械泵、羅茨泵、分子泵系統(tǒng)等。
真空測量部分
真空系統(tǒng)的真空測量部分,就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空范圍,人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計。如熱偶計,電離計,皮拉尼計等。
電源供給部分
靶電源主要有直流電源、中頻電源、脈沖電源、射頻電源(RF),常見的電源廠商有AE,ADL,霍廷格等。
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