無塵車間的平面布局：

無塵車間一般包括無塵區(qū)、準無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法：

外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無窗，無塵車間施工廠家，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

內(nèi)廊式：無塵車間設(shè)在外圍，無塵車間凈化，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的無塵度等級一般都較高，乃至和無塵車間同級。

兩頭式：無塵區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準無塵和輔佐用房。

中心式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無塵區(qū)為中心，工廠無塵車間，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

無塵車間振動控制

一、無塵車間和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈廠房的管道，應采取積極隔振措施。

二、無塵車間內(nèi)外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

三、精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發(fā)生量、保持潔凈廠房內(nèi)合理的氣流組織等要求。當采用空簧隔振臺座時，應地氣源進行處理，使其達到潔凈廠房的空氣潔凈度等級。無塵車間建筑要求

無塵車間的原則:

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，淮北無塵車間，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高1效率的設(shè)計和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。

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