相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，寧德凈化室，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，風(fēng)淋凈化室，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

潔凈室的測(cè)試：1.送風(fēng)量與排風(fēng)量：如果是紊流潔凈室，那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室，則要測(cè)量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制：為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng)，必須檢測(cè)：(1)各區(qū)間的壓差正確;(2)門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，凈化室定制，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過(guò)濾器檢漏：對(duì)過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn)，以保證懸浮污染物不會(huì)穿過(guò)：(1)損壞了的過(guò)濾器;(2)過(guò)濾器與其外框間的縫隙;(3)過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。

實(shí)驗(yàn)室潔凈室裝修主要是通過(guò)應(yīng)用潔凈技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的灰塵，含菌濃度，壓力以及溫濕度來(lái)達(dá)到實(shí)驗(yàn)室潔凈要求。潔凈度是指每升空氣中所含粒徑≥0.5um的塵粒的總顆粒。國(guó)內(nèi)和郭偉的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)有些不同，我國(guó)空氣潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)分為：100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。國(guó)際bbiao準(zhǔn)則劃分為：1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)、4級(jí)、5級(jí)。



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