相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，凈化室定制，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，無(wú)塵凈化室，對(duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。

工作人員在進(jìn)入無(wú)塵車間要注意哪些？1、在進(jìn)入無(wú)塵車間的時(shí)分，應(yīng)該要先停止風(fēng)淋。在工作的時(shí)分，包括胡須在內(nèi)的一切毛發(fā)，都應(yīng)該運(yùn)用毛發(fā)護(hù)具來(lái)全部地遮蓋住。以免掉落的毛發(fā)來(lái)對(duì)產(chǎn)品的消費(fèi)形成影響。2、在工作中，工作人員應(yīng)當(dāng)盡量防止或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù)，凈化室安裝，假如能夠，還是采取全自動(dòng)的消費(fèi)流程。假如一定要接觸的話，廈門凈化室，應(yīng)該先洗潔凈手，并且戴上手套，避免對(duì)設(shè)備和產(chǎn)品形成污染。

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