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凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風qiang、離子頭、離子棒等設施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,無塵凈化室,這種防靜電盛放器有良好導電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當然,有條件的應盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應有良好的接地性能,這種措施極為有效。
所謂潔凈度是指潔凈目標——空氣的清洗程度。潔凈度通常用必定體積或必定分量空氣中所含污染物質(zhì)的巨細、數(shù)量或分量來表明。例如,每立方米空氣中,含有大于或等于0.5um的懸浮微粒數(shù)有X個,即潔凈度為》0.5um顆粒為X個/立方。又如:每立方米空氣中塵粒的質(zhì)量為Ymg,其潔凈度為mg/立方表明。因為空氣凈化的意圖與目標不一樣,凈化的內(nèi)容、辦法和衡量規(guī)范也各不相同。從空氣凈化的目標來看,有的是要處理大氣污染的疑問,凈化室設計,有的是以無塵車間為目標。大氣污染的凈化主要是各種氣體廢棄物的處理疑問,是以高濃度污染空氣為目標。而各種無塵車間面對的是室內(nèi)送風的凈化疑問,是以超低污染濃度空氣為目標的。所謂超低污染濃度的空氣,也即是平時以為對比潔凈的空氣。但是對于電子、宇航、高精密機械制造、、某些yi療部分及制藥等一些對出產(chǎn)環(huán)境請求嚴厲的技術(shù)進程或房間,這種相對對比潔凈的空氣,仍然不符合請求,還需求進一步凈化。
實驗室潔凈度及壓力梯度:主實驗室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調(diào)操控),福州凈化室,規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機),潔凈等級為三十萬級—十萬級,換氣次數(shù)25次/小時,相對壓力為 10Pa,規(guī)劃送風量900m3/h,凈化室廠家,過濾器送風口的風量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級為十萬級,換氣次數(shù)15次/小時,相對壓力為 5Pa,規(guī)劃送風量110m3/h,過濾器送風口的風量為500 m3/h。
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