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什么是氣體質量流量控制器?
氣體質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。
質量流量控制器不僅具備質量流量計的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,即客戶可按照需求設定流量,MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設定值上,即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變,也不會使其偏移設定值。簡易地說,質量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設備, 是一個可以手動式設置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流設備。
使用氣體質量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進到氣體質量流量控制器內(nèi)部會阻塞傳感器和分流器, 導致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進到MFC, 一旦有液體進入到MFC內(nèi)部會導致無法控制,所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥,熱式質量流量計報價, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標準實際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預熱,保證MFC在不通氣時,瞬時流量處于0的位置,如果不通氣時,熱式質量流量計,瞬時流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進行調零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質量流量控制器的零點漂移?
微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數(shù)值的,但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時,對零點漂移的數(shù)值有疑問,那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質量流量控制器和流量計會有零點漂移情況,零點漂移也就是管道中已經(jīng)沒有介質流動但質量流量計仍顯示流量值。如果是零點出現(xiàn)大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開各種閥門,全部排空氣體管路,熱式質量流量計價格,防止設備或管路憋壓。
一般造成質量流量計零點漂移的因素有許多,解決質量流量計零漂問題,首先要定期進行零點檢查和調整,熱式質量流量計哪家好,二是需要和工藝配合來解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質微量流動也會導致質量流量控制器/質量流量計的零點漂移,出現(xiàn)這種漂移時,要關閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來使用),使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內(nèi)的壓力和氣流,從而達到消除零點漂移。
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