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使用質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器, 造成測(cè)量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì)造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強(qiáng)腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。
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流體系統(tǒng)
流體系統(tǒng)是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對(duì)應(yīng)的流動(dòng)元件集合,氣體質(zhì)量流量計(jì)數(shù)字控制模塊公司,各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對(duì)應(yīng)。流體介質(zhì)是流體系統(tǒng)中的流動(dòng)物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統(tǒng)對(duì)流體介質(zhì)的輸運(yùn)能力、熱傳導(dǎo)能力及其流體的作功能力。流體系統(tǒng)是由各種流動(dòng)元件相互連接而成,流動(dòng)元件包括流體存儲(chǔ)元件、流體單向輸運(yùn)元件、流體多向輸運(yùn)元件。流體單向輸運(yùn)元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機(jī)等。流體多向輸運(yùn)元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲(chǔ)元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運(yùn)元件與之相連,其流量既可能流進(jìn),也可能流出。
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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,氣體質(zhì)量流量計(jì)數(shù)字控制模塊多少錢, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa),氣體質(zhì)量流量計(jì)數(shù)字控制模塊, 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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