主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號(hào)CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長(zhǎng)1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺(tái)參數(shù)平臺(tái)形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺(tái)加工范圍400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度：20-30℃，濕度：<60%電力需求380V/50Hz/10KVA超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作方法難嗎？無(wú)錫超通智能告訴您。品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國(guó)內(nèi)晶圓以 8英寸和 12 英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時(shí)加工1片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來(lái)越小，加工及測(cè)量設(shè)備越來(lái)越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。同時(shí)，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時(shí)，空氣中的顆粒數(shù)對(duì)晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)遼寧自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)格表無(wú)錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的價(jià)格分析。

激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案，很好的避免了砂輪劃片存在的問(wèn)題。如圖1所示，激光隱形切割是通過(guò)將脈沖激光的單個(gè)脈沖通過(guò)光學(xué)整形，讓其透過(guò)材料表面在材料內(nèi)部聚焦，在焦點(diǎn)區(qū)域能量密度較高，形成多光子吸收非線性吸收效應(yīng)，使得材料改性形成裂紋。每一個(gè)激光脈沖等距作用，形成等距的損傷即可在材料內(nèi)部形成一個(gè)改質(zhì)層。在改質(zhì)層位置材料的分子鍵被破壞，材料的連接變的脆弱而易于分開(kāi)。切割完成后通過(guò)拉伸承載膜的方式，將產(chǎn)品充分分開(kāi)，并使得芯片與芯片之間產(chǎn)生間隙。這樣的加工方式避免了機(jī)械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術(shù)可應(yīng)用于藍(lán)寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導(dǎo)體晶圓。

試驗(yàn)表明，在其他參數(shù)不變的情況，頻率小于10kHz時(shí)，劃片聲音尖銳刺耳，劃片深度較淺，劃片寬度較寬頻率增大，劃片深度增加，劃片寬度減少。當(dāng)頻率達(dá)到50kHz時(shí)，劃片深度比較大當(dāng)頻率繼續(xù)增大，劃片深度開(kāi)始減小。這是由于，在較小的頻率下，雖然單個(gè)脈沖的峰值功率高，但是總體平均功率處于較低水平，雖然切割范圍大，但卻無(wú)法達(dá)到理想深度頻率增大以后，單個(gè)脈沖峰值功率有所下降，但是總體平均功率持續(xù)升高，到達(dá)臨界頻率時(shí)，可以得到較理想的劃片深度和較窄的劃片寬度再增大頻率，單個(gè)脈沖的峰值功率偏低，不足以對(duì)硅片進(jìn)行“切割”，即使平均功率很高，劃片深度也趨于變小。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作步驟詳解。

近年來(lái)光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長(zhǎng)，硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光隱形切割技術(shù)。半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無(wú)切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢(shì)。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過(guò)材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過(guò)外部施加壓力使芯片分開(kāi)。無(wú)錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量可靠嗎？河南自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案

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與YAG和CO2激光通過(guò)熱效應(yīng)來(lái)切割不同，紫外激光直接破壞被加工材料的化學(xué)鍵，從而達(dá)到切割目的，這是一個(gè)“冷”過(guò)程，熱影響區(qū)域小。另外，紫外激光的波長(zhǎng)短、能量集中且切縫寬度小，因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有***的應(yīng)用，目前，激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長(zhǎng)主要有 1064nm、532nm、355nm 三種，脈寬為ns（納秒）、ps（皮秒）和fs（飛秒）級(jí)。理論上，激光波長(zhǎng)越短脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，越有利于微細(xì)精密加工，但成本相對(duì)較高。品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備