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晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片,稱(chēng)之為晶圓劃片。激光作為新型的加工方式之一,屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到亞微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理更具優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。無(wú)錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的出廠價(jià)格。河南自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備
迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長(zhǎng)度、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,通過(guò)采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性、高精度切割,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車(chē)電子、傳感器、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,對(duì)我國(guó)實(shí)現(xiàn)**國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義。制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)錢(qián)無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)。
由于以往我國(guó)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)薄弱,激光加工芯片的研究和應(yīng)用偏少,而是首先在下游消費(fèi)電子產(chǎn)品終端組裝得到了一些應(yīng)用。未來(lái)我國(guó)的精密激光加工主要市場(chǎng)將會(huì)從一般電子零部件加工逐漸往上游材料和**元件移動(dòng),尤其是半導(dǎo)體材料、生物醫(yī)療、高分子聚合物材料等制備。半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用工藝將會(huì)越來(lái)越多被發(fā)明出來(lái),對(duì)于高精密的芯片產(chǎn)品,非接觸的光加工是**合適的方式。憑著龐大的需求量,芯片產(chǎn)業(yè)極有可能將會(huì)托起下一輪精密激光加工設(shè)備的需求熱潮。
半導(dǎo)體晶圓機(jī)械劃線直至1990年代未曾改變[6],刀具有硬質(zhì)合金刀輪、三角錐或四角錐臺(tái)等形式,皆以鑽石及其他硬質(zhì)合金製成,因其耐磨性比較好。機(jī)械劃線用角錐的稜劃線,輪流標(biāo)示刻槽,此法的應(yīng)用受限于有如應(yīng)力集中系數(shù)k之標(biāo)準(zhǔn),透過(guò)施加彎矩決定在表面的比較大彎曲應(yīng)力,可經(jīng)下列公式計(jì)算:k=(0.355(t-d)/r)+0.85)/2+0.08(1)其中,t:晶圓厚度;d:切割深度;r:鉆石粒徑。由此可知,晶圓愈厚所需的彎曲應(yīng)力愈大。可透過(guò)增加劃痕深度減少所需的彎曲應(yīng)力,但如此沿切割線的缺陷程度便會(huì)增加,且劃線工具上壓力提高可能導(dǎo)致材料分裂不受控制;另可加大鉆石粒徑,但同樣會(huì)影響芯片斷面品質(zhì)及其機(jī)械強(qiáng)度。無(wú)錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備怎么樣?
激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素,在其他參數(shù)固定不變時(shí),劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大,這是因?yàn)?,紫外激光雖然屬于“冷切割”,但還是存在一定的熱效應(yīng),熱量會(huì)積累在切割處。當(dāng)激光功率一定時(shí),晶圓受到照射的時(shí)間越長(zhǎng),獲得的能量就越多,燒蝕現(xiàn)象就越嚴(yán)重。頻率會(huì)影響激光脈沖的峰值功率和平均功率,從而對(duì)劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響。增大頻率,脈沖峰值功率會(huì)下降,但整體平均功率會(huì)上升,這相當(dāng)于在劃片過(guò)程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應(yīng)累積,給熱量的耗散預(yù)留了空間。無(wú)錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備是否結(jié)實(shí)耐用?山東超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)格表
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當(dāng)聽(tīng)到“半導(dǎo)體”這個(gè)詞時(shí),你會(huì)想到什么?它聽(tīng)起來(lái)復(fù)雜且遙遠(yuǎn),但其實(shí)已經(jīng)滲透到我們生活的各個(gè)方面:從智能手機(jī)、筆記本電腦、***到地鐵,我們?nèi)粘I钏蕾?lài)的各種物品都用到了半導(dǎo)體,它觸手可及,卻又感覺(jué)離我們很遠(yuǎn)。什么是半導(dǎo)體?,字典中的解釋是,指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導(dǎo)體材料中,在商業(yè)應(yīng)用上相當(dāng)有有影響力的一種。那我們聯(lián)想到硅谷以及他所**的形象我們心中就對(duì)此有了定位。河南自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備
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