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超通智能本著以質(zhì)量求生存,以用戶效益求發(fā)展,的服務(wù)理念,完善的質(zhì)量管理體系、合理的價(jià)格,真誠(chéng)為用戶提供*的服務(wù)。激光屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理具有優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實(shí)現(xiàn)切割的目的因?yàn)楣獍唿c(diǎn)較小,較低限度的炭化影響。選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么?無(wú)錫超通智能告訴您。湖北銷(xiāo)售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備訂制價(jià)格
半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無(wú)耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢(shì)。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過(guò)材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質(zhì)層,然后通過(guò)外部施加壓力使芯片分開(kāi)。晶圓切割是先進(jìn)技術(shù)的**,標(biāo)志著一個(gè)國(guó)家的先進(jìn)水平,想要不出現(xiàn)被卡脖子的狀況,唯有發(fā)展自己的技術(shù),才能跳出這個(gè)泥潭,作為激光行業(yè)的**,超通智能針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存儲(chǔ)芯片等諸多晶圓的切割領(lǐng)域,為國(guó)家的進(jìn)步做貢獻(xiàn),實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn),提升國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力。湖北先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備產(chǎn)品介紹超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備怎么選?無(wú)錫超通智能告訴您。
激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素,在其他參數(shù)固定不變時(shí),劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大,這是因?yàn)?,紫外激光雖然屬于“冷切割”,但還是存在一定的熱效應(yīng),熱量會(huì)積累在切割處。當(dāng)激光功率一定時(shí),晶圓受到照射的時(shí)間越長(zhǎng),獲得的能量就越多,燒蝕現(xiàn)象就越嚴(yán)重。頻率會(huì)影響激光脈沖的峰值功率和平均功率,從而對(duì)劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響。增大頻率,脈沖峰值功率會(huì)下降,但整體平均功率會(huì)上升,這相當(dāng)于在劃片過(guò)程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應(yīng)累積,給熱量的耗散預(yù)留了空間。
晶圓是半導(dǎo)體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料,晶圓生長(zhǎng)后需要經(jīng)過(guò)機(jī)械拋光,后期尤為重要的是晶圓切割加工,也叫晶圓劃片。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術(shù)已經(jīng)在歐洲、美國(guó)發(fā)展成熟。隨著超快激光器的快速發(fā)展和功率提升,超快激光切割晶圓未來(lái)將會(huì)逐漸成為主流,特別在晶圓切割、微鉆孔、封測(cè)等工序上,設(shè)備需求潛力較大。目前國(guó)內(nèi)已經(jīng)有精密激光設(shè)備廠家能夠提供晶圓開(kāi)槽設(shè)備,可應(yīng)用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開(kāi)槽,以及激光晶圓隱切設(shè)備應(yīng)用于MEMS傳感器芯片,存儲(chǔ)芯片等**芯片制造領(lǐng)域。無(wú)錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量可靠嗎?
半導(dǎo)體晶圓機(jī)械劃線直至1990年代未曾改變[6],刀具有硬質(zhì)合金刀輪、三角錐或四角錐臺(tái)等形式,皆以鑽石及其他硬質(zhì)合金製成,因其耐磨性比較好。機(jī)械劃線用角錐的稜劃線,輪流標(biāo)示刻槽,此法的應(yīng)用受限于有如應(yīng)力集中系數(shù)k之標(biāo)準(zhǔn),透過(guò)施加彎矩決定在表面的比較大彎曲應(yīng)力,可經(jīng)下列公式計(jì)算:k=(0.355(t-d)/r)+0.85)/2+0.08(1)其中,t:晶圓厚度;d:切割深度;r:鉆石粒徑。由此可知,晶圓愈厚所需的彎曲應(yīng)力愈大。可透過(guò)增加劃痕深度減少所需的彎曲應(yīng)力,但如此沿切割線的缺陷程度便會(huì)增加,且劃線工具上壓力提高可能導(dǎo)致材料分裂不受控制;另可加大鉆石粒徑,但同樣會(huì)影響芯片斷面品質(zhì)及其機(jī)械強(qiáng)度。無(wú)錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的廠家優(yōu)勢(shì)。北京國(guó)產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家報(bào)價(jià)
超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備如何選擇?無(wú)錫超通智能告訴您。湖北銷(xiāo)售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備訂制價(jià)格
迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長(zhǎng)度、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,通過(guò)采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性、高精度切割,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車(chē)電子、傳感器、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,對(duì)我國(guó)實(shí)現(xiàn)**國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義。湖北銷(xiāo)售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備訂制價(jià)格
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