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四川自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制 無錫超通智能供應(yīng)

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發(fā)布時(shí)間:2024-01-05 19:49  

與傳統(tǒng)的切割方式相比,隨著激光技術(shù)的成熟,使用激光對(duì)硅晶圓進(jìn)行高效質(zhì)量切割已成為質(zhì)量選擇。激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷,解決了金剛石鋸片引入外力對(duì)產(chǎn)品內(nèi)外部的沖擊破壞問題,還免去了更換刀具和模具帶來的長(zhǎng)期成本。隨著“工業(yè)4.0”和“中國制造2025”的***鋪開,**智能制造越來越離不開高性能激光器的加持。在這樣的宏觀背景下,為超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備這樣的產(chǎn)品提供了廣闊的舞臺(tái),也將隨著其在各行各業(yè)的應(yīng)用而被認(rèn)可。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備安心售后。四川自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

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碳化硅是寬禁帶半導(dǎo)體器件制造的**材料,SiC 器件具有高頻、大功率、耐高溫、耐輻射、抗干擾、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢(shì)。對(duì)于它的加工也有很多方式,其中激光劃片是目前較為理想的方式之一。激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長(zhǎng)主要有 1 064 nm、532 nm、355 nm 三種,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級(jí)。理論上,激光波長(zhǎng)越短、脈寬越短,加工熱效應(yīng)越小,有利于微細(xì)精密加工,但成本相對(duì)較高。355 nm 的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小,應(yīng)用非常多。近幾年 1 064 nm 的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,應(yīng)用到很多新領(lǐng)域,獲得了很好的效果。重慶智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的廠家哪家好?無錫超通智能告訴您。

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激光劃片是利用高能激光束照射工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化,從而達(dá)到去除材料,實(shí)現(xiàn)劃片的過程。激光劃片是非接觸式加工,無機(jī)械應(yīng)力損傷,加工方式靈活,不存在刀具損耗和水污染,設(shè)備使用維護(hù)成本低。為避免激光劃透晶圓時(shí)損傷支撐膜,采用耐高溫?zé)g的UV膜。目前,激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長(zhǎng)主要有1064nm、532nm、355nm三種,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級(jí)。理論上,激光波長(zhǎng)越短、脈寬越短,加工熱效應(yīng)越小,有利于微細(xì)精密加工,但成本相對(duì)較高。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小,應(yīng)用非常***。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,應(yīng)用到很多新領(lǐng)域,獲得了很好的效果。

晶圓切割是封裝過程中十分關(guān)鍵的一步,因?yàn)樵诖诉^程中容易產(chǎn)生大的機(jī)械損傷導(dǎo)致嚴(yán)重的可靠性問題,甚至是芯片的損壞。晶圓的切割方式有多種,**傳統(tǒng)的切割方式為刀片切割,這也是至今使用*****的一種方式。金剛石劃片刀切割晶圓有多重因素會(huì)對(duì)切割質(zhì)量造成影響,包括材料,切割儀器,工作環(huán)境,切割方法以及其他人為因素等。而現(xiàn)在采用激光切割是相對(duì)傳統(tǒng)切割更快,質(zhì)量更高的開工方式。超通智能自主研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備可以幫助企業(yè)**提升加工效率,增加產(chǎn)品的加工質(zhì)量。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場(chǎng)應(yīng)用分析。

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激光劃片在晶圓加工方面具備以下優(yōu)勢(shì):1.激光劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器,對(duì)芯片的電性影響較小,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片??梢郧懈钜恍┹^復(fù)雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,可24小時(shí)連續(xù)作業(yè)5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經(jīng)驗(yàn),如刀輪切割設(shè)備,外觀尺寸小型化,占地面積小,切割行程**功率主軸,高速高精度電機(jī),閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制,確保生產(chǎn)效率。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的選材要求是什么?無錫超通智能告訴您。廣東自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)錢

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激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素,在其他參數(shù)固定不變時(shí),劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大,這是因?yàn)?,紫外激光雖然屬于“冷切割”,但還是存在一定的熱效應(yīng),熱量會(huì)積累在切割處。當(dāng)激光功率一定時(shí),晶圓受到照射的時(shí)間越長(zhǎng),獲得的能量就越多,燒蝕現(xiàn)象就越嚴(yán)重。頻率會(huì)影響激光脈沖的峰值功率和平均功率,從而對(duì)劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響。增大頻率,脈沖峰值功率會(huì)下降,但整體平均功率會(huì)上升,這相當(dāng)于在劃片過程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應(yīng)累積,給熱量的耗散預(yù)留了空間。四川自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

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