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對外延片以Lapping的方式雖然加工品質較好。但是移除率太低,比較高也只能達到3um/min左右,如果全程使用Lapping的話,此加工就需耗時約2h,時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程,通過鉆石砂輪與減薄機的配合來達到快速減薄的目的。,既能達到較高的移除率,又能修復Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發(fā)生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除,因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外,有些芯片廠家為了增加芯片的亮度,在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅,此時對Lapping之后的表面提出了更高的要求。雖然有些刮傷不會引起裂片,但是會影響背鍍的效果。此時可以采用3um多晶鉆石液或者更小的細微性來進行Lapping制程,以達到更好的表面品質。 五金平面精密磨加工生產銷售,就選深圳銘豐慶,有想法的可以來電咨詢!河南磨五金平面精密磨
平面拋光機在使用磨料進行加工的各道研磨工序中,被研表面光潔度主要是大量磨粒切削刃尖在被研表面上所形成的無數切痕互相重迭的結果。從總的方面來說,被研表面光潔度的高低,取決于磨粒的粗細,或者說取決于磨粒壓下工件表面的深度及通過工件單位橫截表面的有效磨粒數量。但在實際研磨過程中,并不僅是選擇了細的磨料(如),就能研出理想的表面光潔度來(如▽14),還有很多因素影響工件在平面拋光機中的研磨質量。試作如下分析:選擇合適的磨料粒度磨料的粒度愈小,獲得的表面光潔度就愈高。如要進一步提高表面光潔度,可對使用的磨料再次分選,這樣使磨粒的大小均勻程度及基本顆粒的數量比,都可以得到改善。對一般的敷砂研磨來說,滾動的磨粒數量愈少,表面光潔度愈就高。為了提高表面光潔度,可用浸煤油的棉花將敷砂粒擦凈,再作一次干研磨,其加工量為~1微米。當研磨軟質材料工件時,磨粒容易嵌入工件表面,使研痕加深,從而破壞了表面光潔度。為了得到較高的表面光潔度,可采用嵌砂研具或者材質軟的研具進行研磨。一般說來,被研表面光潔度是隨著被研工件材料硬度的增加而得到改善的,因此,對于淬硬鋼工件表面光潔度的提高,可通過提高淬火硬度的方法來達到。
福建精磨五金平面此后若再增加研磨壓力,效率反而下降。
平面研磨機分為很多種,按照所磨工件的大小分為小型,中型和大型。小型研磨機一般磨200mm以內的工件,中型研磨機一般磨600mm以內的工件,大型平面研磨機一般指能磨600-1000mm以上的大型金屬板材。平面研磨機主要有真空主軸、砂輪架、滑座、工作臺、床身、冷卻液系統(tǒng)、液壓傳動系統(tǒng)以及電機,修正輪,加壓氣缸,鋁底座,壓重塊等共同組成起來的。介紹一下中小型平面研磨機的結構和組成。平面研磨機的構造:(1)真空主軸,用于固定工件(2)砂輪架——安裝砂輪并帶動砂輪作高速旋轉,砂輪架可沿滑座燕尾導軌作手動或液動橫向間隙運動。(3)滑座——安裝砂輪架并帶動砂輪架沿立柱導軌作上下運動。(4)立柱——支承滑座及砂輪架。(5)工作臺——安裝工件并由液壓系統(tǒng)驅動作往復直線運動。(6)床身——支承工作臺、安裝其它部件。(7)冷卻液系統(tǒng)——向磨削區(qū)提供冷卻液(皂化油)。(8)液壓傳動系統(tǒng)——其組成有:1)動力元件——為油泵,供給液壓傳動系統(tǒng)壓力油;2)執(zhí)行元件——為油缸,帶動工作臺等部件運動;3)控制元件——為各種閥,控制壓力、速度、方向等;4)輔助元件——如油箱、壓力表等。液壓傳動與機械傳動相比具有傳動平穩(wěn),能過載保護,可以較大范圍實現(xiàn)無級調速等優(yōu)點。(9)電機。
無級調速簡稱CV(continuouslyviable)變速,是通過兩組可以改變直徑的齒輪或者皮帶輪組成,由鏈條或皮帶連接,通過改變齒輪或皮帶輪的直徑來控制變速比平面拋光機是采用無級調速系統(tǒng)控制,那么其變速控制方法是怎樣的呢?平面拋光機在進行研磨加工有三個階段,即開始階段、正式階段和結束階段,開始階段磨具升速旋轉,正式階段磨具恒速旋轉,結束階段磨具降速旋轉,其特征在于,在研磨加工開始階段,人為控制磨具轉速的加速度從零由慢到快地增大,當磨具轉速升到正式研磨速度的一半時,加速度的變化出現(xiàn)一個拐點,控制磨具轉速的加速度由最大值由快到慢地減小,直到磨具轉速達到正式的研磨速度,磨具轉速的加速度降為零。平面拋光機的主機采用調速電機驅動,配置大功率減速系統(tǒng),軟啟動、軟停止,運轉平穩(wěn)。通過上、下研磨盤、太陽輪、游星輪在加工時形成四個方向、速度相互協(xié)調的研磨運動,達到上下表面同時研磨的高效運作。平面拋光機是采用無級調速系統(tǒng)控制,可輕易調整出適合研磨各種部件的研磨速度。采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋壓力控制,可調控壓力裝置。上盤設置緩降功能,有效的防止薄脆工件的破碎。通過一個時間繼電器和一個研磨計數器。 尤其對于NI-WC密封面,其硬度≥63HRC。
工件研磨加工作業(yè)后研磨盤的平面度和平行度,會跟不上標準,這就需要用矯正工具對研磨盤及工件進行矯正。一般情況下,可以分為,研磨后研磨前的矯正。被受損的加工過的工件,會因為研磨盤平面度平行度不良,或研磨人員不按照正常的工作程序和要求進行作業(yè),導致工件變形了,這個時候就是研磨后矯正。研磨后矯正一般采用施力工具對已經變了形的工件施加矯正力。施力工具一般有軟硬手錘兩種工具。矯正已加工表面、表面質量要求較高的材料以及有色金屬制品的變形,使用木錘、銅錘、橡皮錘等軟錘來矯正是為常用的方法。這種方法要矯正的工件的精度不高。除此外,還有一種方法就是抽條和拍板矯正。抽條是用條狀薄板料完成的簡易矯正工具,比較適于比較大的面積的板料矯平。拍板是用質地較硬的檀木所制成的工具。但無論何種工具,這都是在研磨后對已經變形的工件進行矯正,不太建議使用。為了提高產品的合格率,避免產生工件變形,更推薦您使用研磨前矯正,就是用工具對平面研磨機研磨盤進行矯正,以便達成理想的研磨盤平面度和平行度。 深圳銘豐慶集平面磨五金加工生產和銷售為一體,竭誠為您服務。湖南五金平磨平面打磨
在結合傳統(tǒng)的研磨工藝基礎上超精研磨各個工藝環(huán)節(jié)的影響因素進行分析。河南磨五金平面精密磨
常見問題:問題因由解決方法工件表面出現(xiàn)震紋砂輪:重量不平衡調較砂輪平行器砂號太幼密度太高硬度太高使用較粗的砂輪使用較低密度的砂輪使用較低硬度的砂輪冼石不正確更換鋒利的洗石筆加快洗石筆洗石速度安裝不穩(wěn)檢查及重新安裝周邊與主軸不同心進行洗石及檢查安裝機床:主軸軸承損耗檢查及維修主軸工件表面不平砂輪:磨料太軟更換較耐磨的砂輪砂號太粗密度太低闊度太薄使用較幼的砂輪使用較高密度的砂輪使用較厚的砂輪冼石不正確更換鋒利的洗石筆減慢洗石筆洗石速度安裝不穩(wěn)檢查及重新安裝重量不平衡調較砂輪平行器機床:主軸軸承損耗或機架變形檢查及維修主軸或換機工件表面光潔度不足砂輪:重量不平衡調較砂輪平行器砂號太粗密度太低硬度太低使用較幼的砂輪使用較高密度的砂輪使用較高硬度的砂輪冼石不正確更換鋒利的洗石筆減慢洗石筆洗石速度安裝不穩(wěn)檢查及重新安裝冷卻液不清潔檢查冷卻液過瀘情況機床:主軸軸承損耗檢查及維修主軸工件表面燒傷砂輪:砂號太幼密度太高硬度太高使用較粗的砂輪使用較低密度的砂輪使用較低硬度的砂輪工序:工作臺移動太慢進給率太深加快工作臺移動速度減少進刀量冼石不正確更換鋒利的洗石筆加快洗石筆洗石速度冷卻液:不清潔使用型號不適當流量。 河南磨五金平面精密磨
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