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隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品的更新?lián)Q代很快,人們對(duì)生活質(zhì)量要求也越來(lái)越高,工業(yè)潔凈室凈化工程、生物潔凈室凈化工程的建造日新月異,因此潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)本身便具有高新技術(shù)、技術(shù)密集和資金密集的特點(diǎn),為了提高潔凈室凈化工程建成后的技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益,福州潔凈室,在進(jìn)行潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)設(shè)法盡可能地考慮一定的靈活性,以便使建成后的潔凈室凈化工程能隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展*可以方便地進(jìn)行技術(shù)改造。
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
單向流潔凈室,從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和過(guò)濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒(méi)有渦流。這也就是單向流潔凈室的特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一,并且干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,福州潔凈室廠家,前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,向前(下)推進(jìn),福州車間潔凈室,而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒(méi)有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
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