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在半導體生產中,超純水主要用于清洗硅片。少量水用于配制藥劑、硅片氧化的蒸汽源、某些設備的冷卻水、電鍍溶液的配制。集成電路產品的質量與產量密切相關。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會降低PN結的耐壓力,III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化。細菌高溫炭化水中的磷(約為灰分的20%~50%)會使p型硅片局部變?yōu)镹型硅片,導致器件性能下降。水中的顆粒,包括細菌,保定edi超純水設備,如果附著在硅片表面,會導致短路或性能惡化??梢?,超純水在半導體行業(yè)的必要性。
EDI超純水系統是電子、化工、電鍍等對水質要求較高的行業(yè)的一種制水設備。運行能耗低,edi純水設備,無酸堿廢水排放。雖然設備投資較高,但后期維護成本相對較低,無需酸堿再生。那么,edi超純水設備價格,EDI超純水系統出水電導率受哪些因素影響?
1、原水:原水水質發(fā)生變化,原水電導率高,產水自然受到影響。
2、預處理:機械過濾器、活性炭過濾器未定期及時反沖洗。
3、反滲透膜元件損壞或超過使用壽命。
4、保安過濾器污堵。
5、RO除鹽率下降和產水量下降10%或RO進水壓力上升10%時,有沒有及時進行清洗。
6、在不同的進水流量下,EDI超純水系統出水電導率會隨著電流的變化而變化。這是因為在電路中,淡室中的溶液相和樹脂相是并聯的。離子輸送主要是通過樹脂相進行的,在一定的淡水流量范圍內,流量對樹脂的影響較小,因此EDI膜堆的總電流變化不大,而水的電導率變化也很小,因此進水流量對水質的影響相對較小
7、工作電壓對出水電導率影響很大。如果工作電壓太小,在純水排出之前,edi超純水設備廠,不足以將離子從淡室中移除。電滲析工藝和樹脂電再生工藝相對較弱。此時,主要進行離子交換過程。隨著工作電壓的升高,水的離解度增大,樹脂再生效果好,淡水電導率降低。當工作電壓升高到一定程度時,離子交換過程與樹脂再生過程達到平衡,產水電導率進一步降低并趨于穩(wěn)定。然而,過高的工作電壓會導致水電離和離子反應擴散過度,降低產水的質量。因此,建議EDI在適當的電壓下運行。
EDI超純水系統中微生物的繁殖方法一般有以下原因:
1、在密封環(huán)境中,由于接觸不良而發(fā)生滲水,導致內部環(huán)境受到外部微生物和繁殖細菌的影響。
2、消耗品長期未更換,導致反滲透膜上微生物過度聚集,微生物增多,水質下降。
3、EDI超純水系統長期未使用,放置時微生物生長。
4、進水水質差,導致預處理系統耗材消耗快,微生物繁殖快。
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