微電子技術一般常使用的材料為硅晶體，MEMS刻蝕機，該材料由于其自身的特性在一定程度上阻礙了微電子技術的進步?，F(xiàn)今，研究人員開始逐漸借助氧化物半導體材料和超導體材料替代常用的硅晶體材料，此外，使用碳納米管做成的晶體管更是為微電子技術的革新提供了新的思路。學者經(jīng)過實驗研究得出：新納米管電路中總輸出信號是大于輸入信號，該結論的得出也表明該納米管電路是具有一定的放大功能。

濕式制程化學臺產(chǎn)于美國。濕式制程化學臺有標準型和更優(yōu)的，MEMS腐蝕機，標準型濕式制程化學臺使用于一般要求，更好的濕式制程化學臺具有優(yōu)良性能。是一種靈活，安全和實惠的研發(fā)工具，濕蝕刻清洗設備EDC 系列常被應用在以溶劑和水為基礎的處理過程：蝕刻-清洗-干燥，開發(fā)-沖洗-干燥，鹽城MEMS，以及利用溶劑和水的清洗。其旋轉涂敷機部分，MEMS清洗機，具有多種板載滴膠閥的零孔隙度特富龍流體路徑等特點，干凈的ECTFE圓頂蓋使用戶能夠實時觀察過程的安全運行。

集成電路是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝，把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起，制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上，然后封裝在一個管殼內(nèi)，成為具有所需電路功能的微型結構；其中所有元件在結構上已組成一個整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進了一大步。