雜質(zhì)捕獲

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，也已進入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 [3]。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導入分析儀器進行金屬成分的測量，一般需要把氣體樣品先進行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，雜質(zhì)捕獲儀多少錢，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

除去雜質(zhì)

除去雜質(zhì)的方法一：雜質(zhì)轉(zhuǎn)化法

欲除去苯中的苯酚，可加入，雜質(zhì)捕獲儀生產(chǎn)廠家，使苯酚轉(zhuǎn)化為苯酚鈉，利用酚鈉易溶于水，使之與苯分開。欲除去Na2CO3中的NaHCO3可用加熱的方法。

除去雜質(zhì)的方法二：吸收洗滌法

欲除去二氧化碳中混有的少量和水，可使混合氣體先通過飽和碳酸氫鈉的溶液后，再通過。

除去雜質(zhì)的方法三：沉淀過濾法

欲除去溶液中混有的少量硫酸銅，加入過量鐵粉，待充分反應后，過濾除去不溶物，達到目的。

除去雜質(zhì)的方法四：加熱升華法

欲除去碘中的沙子，可采用此法。

除去雜質(zhì)的方法五：溶劑萃取法

欲除去水中含有的少量，可采用此法。

除去雜質(zhì)的方法六：溶液結(jié)晶法(結(jié)晶和重結(jié)晶)

欲除去溶液中少量的氯化鈉，可利用二者的溶解度不同，雜質(zhì)捕獲儀，降低溶液溫度，使結(jié)晶析出，得到純晶。

除去雜質(zhì)的方法七：分餾蒸餾法

欲除去中少量的酒精，可采用多次蒸餾的方法。

雜志捕獲儀溶液吸收法

稀堿溶液(0.1 mol/L氫氧化銨)作為吸收液，然后在吸收液中加入，加熱時形成揮發(fā)的四去除硅基體；采用1%和1%氫氧化銨混合液作為烷和磷烷的吸收液，然后在烷吸收液中加入濃鹽酸，加熱形成揮發(fā)的三氯化除去基體；而對于磷烷吸收液則采用強堿性陰離子樹脂靜態(tài)分離去除磷基體。取樣系統(tǒng)如圖2所示，與圖1取樣系統(tǒng)不同的是，烷類氣體取樣前先用惰性氣體清洗系統(tǒng)十分鐘，且取樣完畢后再用惰性氣體清洗以確保安全。

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