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在應(yīng)用凈化車間技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中,電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性相當(dāng)大,潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó),電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是電子廠凈化車間的重要用戶。據(jù)調(diào)查,世界上面積相當(dāng)大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè),一個(gè)單體的凈化車間廠房面積可容納32架飛機(jī)。
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,手術(shù)室凈化造價(jià),對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。
第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設(shè)計(jì)方案。
無(wú)塵車間內(nèi)之注意事項(xiàng)
1、進(jìn)入無(wú)塵車間之油漆或物品須先經(jīng)空氣清洗除塵之手續(xù)。
2、在無(wú)塵車間中制止抓頭、抹臉或搓手。
3、嚴(yán)禁在設(shè)備上書(shū)寫(xiě)及刻畫(huà)。
4、在無(wú)塵室有必要運(yùn)用潔無(wú)塵室紙筆。
5、防止在機(jī)器上運(yùn)用膠帶張貼紙張。
6、當(dāng)運(yùn)用氣1時(shí),有必要置于除塵抽風(fēng)口,以免塵埃污染產(chǎn)品。
異常情況處理
1、在設(shè)備發(fā)生異常情況(非緊迫情況),請(qǐng)先與設(shè)備之擔(dān)任人或設(shè)備部工程師聯(lián)絡(luò)后再作處置。
2、遇有氣體外泄,化學(xué)品翻灑及火警等緊迫情況請(qǐng)告訴擔(dān)任人員。
廢棄物處理
1、一切廢棄物及用過(guò)之化學(xué)品應(yīng)依規(guī)則之方式處理及傾倒。
2、隨時(shí)堅(jiān)持整潔,勿將廢物留給別人,手套、指套、廢棄物請(qǐng)勿隨手丟,應(yīng)置入廢物桶內(nèi)。
3、勿將酸及有1機(jī)溶劑混合傾倒,以免爆1破。
4、有1機(jī)廢溶劑應(yīng)倒入容器中貯存,勿倒入排水體系中。
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