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風(fēng)淋凈化室-莆田凈化室-福州同盛彩鋼板公司(查看)

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發(fā)布時間:2023-04-03 02:12  





潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,凈化室定制,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,風(fēng)淋凈化室,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,無塵凈化室,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。


實驗室凈化工程,無菌實驗室工程,實驗室通風(fēng)系統(tǒng)工程是企業(yè)針對一些要求相對較高,實驗樣品對環(huán)境相對敏感。或者是空氣質(zhì)量過差會污染實驗樣品,如生物制品、微生物研究、腦細(xì)胞實驗室、實驗室、血細(xì)胞實驗室、動物實驗室、生物安全實驗室、病毒研究實驗室等場合,就會必須要求對實驗室或者實驗室某些區(qū)域進(jìn)行空氣凈化工程系統(tǒng)處理。以使實驗室的基礎(chǔ)設(shè)施達(dá)到符合實驗要求的標(biāo)準(zhǔn),實驗才得以安全進(jìn)行。實驗室凈化工程是除了對實驗樣品的安全起到保護(hù)的作用之外,也是為實驗成功與實驗人員的安全保駕護(hù)航的重大措施之一。實驗室凈化工程是將實驗室某一區(qū)域開辟出來,專門用于建造有空氣潔凈等級的、實驗環(huán)境要求相對較高的實驗室或者無菌室。實驗室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的潔凈室系統(tǒng)其實是大同小異的,只不過實驗室對潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對較工業(yè)潔凈室要嚴(yán)格。


單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),莆田凈化室,并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞,向下流經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速,就可以很快將污染物清除。


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