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分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵，這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。由于國內(nèi)磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚，將磁軸承技術(shù)應(yīng)用到實際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識到這一問題后，公司以此為科技攻關(guān)點，經(jīng)過多年的不懈努力，磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對復(fù)合分子泵的工作原理，研發(fā)出了適合復(fù)合分子泵用的磁懸浮高速電機，很后將兩者結(jié)合起來，成功研發(fā)出國內(nèi)生產(chǎn)的磁懸浮復(fù)合分子泵，并探索實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。

9、對顆粒物或沉積物敏感； 10、噪音與振動； 11、破碎問題； 12、暴露大氣易引起事故； 綜上所述，渦輪分子泵的特點很多，但是隨著我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研，同時也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點的進一步研究，相信在未來是個值得突破的課題。

愛發(fā)科分子泵， 磁懸浮分子泵應(yīng)用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線、真空鍍膜生產(chǎn)線、汽車后視鏡鍍膜生產(chǎn)線等領(lǐng)域都有著廣闊的市場前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無摩擦、、高精度、長壽命、低噪音、無油污等突出優(yōu)點，一旦實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，將成為能源、節(jié)能減排、真空機械等重大戰(zhàn)略領(lǐng)域的技術(shù)。

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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設(shè)備配套產(chǎn)業(yè)。真空設(shè)備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于芯片生產(chǎn)制造過程。  半導(dǎo)體制造設(shè)備及工藝流程半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。

這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行，而且對真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用.在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機等關(guān)鍵設(shè)備。光刻機光刻機是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的設(shè)備，制造和維護需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握，因此光刻機價格昂貴。

光刻機光刻過程必須在高真空環(huán)境中實現(xiàn)，原因是極紫外光很嬌貴，花都區(qū)愛發(fā)科分子泵，在空氣中容易損耗。同時，在光刻過程中，設(shè)備的動作時間誤差以皮秒計，這對磁懸浮分子泵的振動值要求極高。（注：皮秒=兆分之一秒）薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導(dǎo)體或?qū)w。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長或沉積的。

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近日，真空推出了一款新型渦輪分子泵，愛發(fā)科分子泵UTM-330價格，便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長，而且采用了該公司開發(fā)的一項技術(shù)，使得真空設(shè)備更加耐用，振動水平更低，噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來講，通過分配幾何確定的動平衡孔和漸近的動平衡配重法，利用激光燒蝕把多余的材料去除，如此一來，轉(zhuǎn)子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點位逐個進行的處理，來達到很佳的動平衡性。

與傳統(tǒng)動平衡相比，用激光去除材料要準(zhǔn)確得多，剩余不平衡會更低。而且在這個過程中，材料特性并不會受到影響?？梢哉f，愛發(fā)科分子泵UTM-800保養(yǎng)，改變了傳統(tǒng)的動平衡過程，將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統(tǒng)動平衡（左）和采用激光燒蝕段的激光動平衡（右）動平衡等級對比.據(jù)了解，通過現(xiàn)代化的自動平衡系統(tǒng)，渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的動平衡品質(zhì)提高了20%，從而大幅提高轉(zhuǎn)子壽命，并降低泵在運行期間的振動和噪音水平。

值得一提的是，激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒，在加工過程中即可抽出和過濾掉，隨后對激光平衡后的轉(zhuǎn)子進行清潔，愛發(fā)科分子泵UTM-300維修，由于無需手動擰緊螺絲，所以確保了表面的很高清潔度，并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現(xiàn)象。因此，用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求，尤其是在需要更低振動和靜音的應(yīng)用中，該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗。

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