對(duì)于凈化廠房裝修、潔凈室設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)等要求較高的場(chǎng)所，施工設(shè)計(jì)均會(huì)牽涉到凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化系統(tǒng)對(duì)風(fēng)管、空調(diào)部件、設(shè)備等的潔凈度和嚴(yán)密性要求較高，施工中，每一個(gè)施工工藝的質(zhì)量必須達(dá)到凈化空調(diào)的要求。同時(shí)還要加強(qiáng)施工全過(guò)程的質(zhì)量控制，確保系統(tǒng)調(diào)試運(yùn)行一次成功，順利完成竣工驗(yàn)收工作。

       一、加工環(huán)境要求高，對(duì)風(fēng)管的制作場(chǎng)地要求封閉、清潔、采光、照明好，制作現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)整潔，加工區(qū)域內(nèi)應(yīng)鋪設(shè)表面無(wú)腐蝕、不產(chǎn)塵、不積塵的柔性材料。加工區(qū)域要經(jīng)常打掃，及時(shí)清理垃圾，操作人員的制服、手套必須清潔，不許穿鞋踏上下料板材。

       二、對(duì)材質(zhì)進(jìn)行檢驗(yàn)。風(fēng)管板材厚度應(yīng)按設(shè)計(jì)工作壓力并結(jié)合規(guī)范要求選用，凈化工程公司，所用材料必須有產(chǎn)品合格證明。鍍鋅鋼板應(yīng)為鍍鋅板，外觀上無(wú)氧化物和麻點(diǎn)、起皮、白花、鋅層粉化等缺陷。

送風(fēng)量大

潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房?jī)?nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。

凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無(wú)塵是必然的要求。

　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

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