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真空計(jì)，又叫真空規(guī)。

半導(dǎo)體行業(yè)中，難以避免的使用真空計(jì)，主要是用于測量某一個腔室或是管路中的氣體壓強(qiáng)。

是什麼？能干什么？如何使用？

1，是什麼？真空計(jì)，字面意思，計(jì)量檢定真空度的儀器設(shè)備。

2，能干什么？真空計(jì)關(guān)鍵用于測量真空，或是叫測量氣體壓強(qiáng)尺寸。腔室里邊汽體多，壓力大，氣體壓強(qiáng)大，真空計(jì)表明的標(biāo)值就大；相反，真空計(jì)表明的標(biāo)值小。

3，如何使用？一般便是把真空計(jì)的物理性插口，KF接口或是是外螺紋插口收到腔室上，隨后把真空計(jì)的電氣設(shè)備插口收到電腦上或是型的數(shù)顯儀表上。那樣就可以測量腔室的真空度，也可以見到真空度實(shí)際的數(shù)據(jù)了。

真空計(jì)的種類及基本原理

真空計(jì)（VacuumGauge），又被稱為真空規(guī)，是測量真空度或標(biāo)準(zhǔn)氣壓的儀器設(shè)備。一般利用不一樣標(biāo)準(zhǔn)氣壓下的某類物理學(xué)效用的變動開展標(biāo)準(zhǔn)氣壓的測量。在科學(xué)研究和工業(yè)制造中普遍應(yīng)用。依照真空計(jì)測量基本原理所利用的差異的物理學(xué)體制，可將具體的真空計(jì)分成三大類，分別是利用物理性能，利用汽體動力學(xué)模型和利用自由電子作用的真空計(jì)。

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空檢漏的意義？

答：真空系統(tǒng)的極限真空決定于系統(tǒng)的抽速和漏氣量，故在抽速一定時，漏氣量就決定了真空度，欲使系統(tǒng)達(dá)到預(yù)定的極限真空，必須通過檢漏和堵漏使系統(tǒng)的漏氣量控制在允許漏率范圍內(nèi)。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，汕尾英?？嫡婵沼?jì)維修，②鹵素檢漏法，英?？嫡婵沼?jì)維修維護(hù)，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，英?？嫡婵沼?jì)維修聯(lián)系咨詢，包括①高頻火花檢漏法，②真空計(jì)檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

簡述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機(jī)械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內(nèi)。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學(xué)吸附作用。

真空計(jì)，又叫真空規(guī)。半導(dǎo)體設(shè)備中，不可避免的用到真空計(jì)，主要是用來測量某一個腔室或者管道中的壓強(qiáng)。

是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計(jì)，字面意思，計(jì)量真空度的儀器。2，能做什么？真空計(jì)主要用來測量真空，英?？嫡婵沼?jì)維修多少錢，或者叫測量壓強(qiáng)大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強(qiáng)大，真空計(jì)顯示的數(shù)值就大；反之，真空計(jì)顯示的數(shù)值小。

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inficon技術(shù)：（1）從微機(jī)電系統(tǒng)（inficon）發(fā)展到納機(jī)電系統(tǒng)（NEMS）的啟示；（2）inficon加速度計(jì)、陀螺儀及組合式慣性傳感器技術(shù)及應(yīng)用；（3）光學(xué)傳感器和氣體傳感器技術(shù)及應(yīng)用；（4）inficon諧振器和振蕩器技術(shù)及應(yīng)用；（5）inficon制造工藝；（6）inficon封裝技術(shù)；（7）inficon產(chǎn)線參觀學(xué)習(xí)：蘇州inficon中試平臺和捷研芯量產(chǎn)封裝產(chǎn)線。 

上世紀(jì)50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振測量氣體壓強(qiáng)。他采用雙三級管（電子管）做電路，其一側(cè)與晶振構(gòu)成Pierce-Miller振蕩器，晶振置于被測氣體中作壓強(qiáng)傳感器。當(dāng)氣體壓強(qiáng)變化時，陽極電流也隨之變化。據(jù)稱該儀器可測105Pa到13.3Pa的壓強(qiáng)。

到了20世紀(jì)80年代，M.Ono等人設(shè)計(jì)了測量范圍從1.33Pa到大于105Pa的石英真空計(jì)。所用晶振為音叉結(jié)構(gòu)，長2.66mm，寬0.3mm，厚0.13mm，諧振頻率為32768Hz。儀器采用位相鎖定環(huán)路，（phaselookedloop）使振蕩電路的頻率與晶振的諧振頻率保持一致。為了進(jìn)一步減小下限，經(jīng)過對石英晶振結(jié)構(gòu)的研究，選用10mm長的晶振做成0.133Pa~105Pa測量范圍的真空計(jì)。

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