氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則

1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，正壓氦質(zhì)譜真空檢漏儀報價，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，正壓氦質(zhì)譜真空檢漏儀哪家好，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，氦質(zhì)譜真空檢漏儀廠家，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。

2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，氦質(zhì)譜真空檢漏儀，經(jīng)濟實用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有哪些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。

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