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噴淋臂旋轉(zhuǎn)無阻礙:測試噴淋臂確保旋轉(zhuǎn)順滑均勻。 ? 清洗機底部排水篩無雜物:清洗機底部的排水篩會留滯來自器械組的污染物。應(yīng)至少每天取下篩網(wǎng)并清洗,或根據(jù)使用次數(shù)增加清洗頻率。阻塞的篩網(wǎng)會阻礙水流和排水,從而影響清洗機的清洗效力。 ? 器械架聯(lián)軸器與歧管正確對齊。確保清洗機水/清洗液進口與清洗架歧管正確對齊,如果沒有對齊,多槽超聲波清洗機,水流、水分布及水壓都會受到影響,清洗機,并且都可能導(dǎo)致清洗機運行不正常。水壓不足會導(dǎo)致噴淋臂無法正常運轉(zhuǎn),還會削弱機械清洗作用。
濟南巴克超聲波科技有限公司是一家從事工業(yè)清洗設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),總部位于濟南市臨港開發(fā)區(qū),碳氫清洗機,標準化廠房面積13000余平方米。員工人數(shù):150余人,超聲波清洗機廠家,擁有工程技術(shù)人員20余人,新設(shè)備研發(fā)人員:10余人,售后人員:10余人。年產(chǎn)值4000多萬元。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機簡介
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機
1.旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機帶有過濾裝置的設(shè)備,在使用過程中應(yīng)定期更換過濾芯;,這樣才能保證設(shè)備的額使用壽命;
2.無電加熱檢查電源,溫度控制器設(shè)定是否在正常位置,檢查相關(guān)的水位開關(guān),檢查電熱器是否失效;更換失效組件;
此方法適用于除去氧化膜或有機物。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短,對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少,對控制成本及環(huán)境保護有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越先進,對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響,實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
企業(yè): 濟南巴克超聲波科技有限公司
手機: 13205411906
電話: 0531-88162175
地址: 山東省濟南市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)臨港北路5576號1號樓206室