氦質譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀。

氦質譜檢漏儀簡介

專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起，氦質譜檢漏設備，如果在適當位置安置接收所有這些離子，就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的優(yōu)勢

科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設備不得不更新，另一方面每個行業(yè)的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現(xiàn)在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領域上都有新的突破。

氦質譜檢漏儀進展集中體現(xiàn)如下方面：

1.智能化：以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，正壓氦質譜檢漏設備多少錢，自動調節(jié)0點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，正壓氦質譜檢漏設備生產廠家，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，氦質譜檢漏設備生產廠家，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

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