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由于潔凈室是密閉性很強的建筑,其安全疏散成為非常重要和突出的問題,和凈化空調系統(tǒng)設置也有密切關系。一般應注意以下幾點:1.每一生產層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設2個安全出口,天津芯片廠凈化工程,只有面積小于50?,人員少于5人時,可允許只設一個安全出口。2.人凈入口不應作疏散出口。因為人凈路線往往迂回曲折,一旦煙火迷漫,要求人員很快跑到室外是很困難的事。3.吹淋室不能作為一般出入通道,由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或自動,天津芯片廠凈化車間,一旦出現(xiàn)故障,非常影響疏散,所以一般均在吹淋室設旁通門,工作人員多于5人時必須設此門。平時工作人員出潔凈室時不應走吹淋室而應走旁通門。
潔凈區(qū)內各潔凈室的門,考慮到維持室內壓力狀況的需要,其開設方向要朝向壓力大的房間,因為要靠壓力把門壓緊,這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求,規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待,其開啟方向一律朝向疏散方向,天津芯片廠凈化車間裝修,當然,單設的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結構和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。
半導體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產生,主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。⑴酸堿廢水:對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內,時間間歇性強。在排放水體或進行生物處理或化學處理之前,天津芯片廠凈化,必須進行中和,使廢水pH值達到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質濃度高達3%~5%的廢水,應首先考慮其回收。⑵含氟廢水:含氟廢水的治理技術主要為化學沉淀法,即投加化學藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
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