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EDI超純水系統(tǒng)由幾個模塊組成,每小時產(chǎn)水量相同。EDI模塊根據(jù)超純水的實際使用情況啟動或停止。手動操作相對頻繁,但操作相對簡單。只需打開EDI進水閥、極水閥、濃水閥,打開電源即可。同時,電子超純水設(shè)備,可根據(jù)出水水質(zhì)調(diào)節(jié)投加量(氯化鈉)、電解電壓和電流大小即可?! DI作為一種經(jīng)濟實用的環(huán)保型超純水系統(tǒng),與混床相比具有以下優(yōu)點:再生化學(xué)品無需再生,運行成本低,不需要中和劑,水資源利用率高,地面和空中工作可以大大減少,全自動操作,降低EHS風(fēng)險,連續(xù)運行,出水水質(zhì)穩(wěn)定。EDI超純水系統(tǒng)是超純水降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率、減少廢水排放、降低生產(chǎn)區(qū)域風(fēng)險的有效手段之一。
超純水設(shè)備發(fā)展前景廣闊
傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備,但離子交換樹脂停止生產(chǎn)需要樹脂再生,天津純水設(shè)備,高能耗也增加了勞動力成本。經(jīng)過多年的實踐,超純水設(shè)備結(jié)合膜分離技術(shù),利用反滲透結(jié)合EDI裝置制備超純水,出水電阻率可達18.2MΩ.cm(25℃),EDI純水設(shè)備,滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水的需求。同時,設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),以確保設(shè)備的出水水質(zhì)。同時,EDI處理裝置產(chǎn)生的廢水較少,不會污染環(huán)境,具有較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益,具有廣闊的發(fā)展前景。
超純水設(shè)備具有連續(xù)出水、無需酸堿再生和無人值守、安裝簡便、操作方便等優(yōu)勢,出水水質(zhì)符合電池用水相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),為半導(dǎo)體用水保駕護航。隨著超純水設(shè)備技術(shù)不斷完善,開啟了各行業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的新局面。許多企業(yè)在生
超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率,隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異,就會使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。
企業(yè): 天津開發(fā)區(qū)瑞爾環(huán)??萍加邢薰?/i>
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