不銹鋼滾輪導軌-MBE設(shè)備的超高真空應用

不銹鋼滾輪導軌系統(tǒng)由不銹鋼V型導軌和全不銹鋼滾輪軸承組成的，可適用于超高真空應用環(huán)境中；詳細說明，請參考文章：真正意義上的不銹鋼導軌系統(tǒng)：

分子束外延（MBE）設(shè)備的真空室為超高真空環(huán)境。超高真空通常用于表面科學設(shè)備中：一般來說，空氣中的分子會附著在暴露于空氣中的固體的表面，并改變固體的表面特性；即使在10-6mba的高真空當中，3秒之內(nèi)就會有一層分子附著在的固體表面；

環(huán)形導軌/連桿連接滑座/電動推桿傳動

環(huán)形導軌上的滑座，滾輪導軌應用，如何通過連桿串聯(lián)連成工位鏈，滾輪導軌特點，請參考說明文章：可調(diào)連桿連接方式-環(huán)形自動裝配線：

電動推桿的動作過程如下：

1. 垂直導向?qū)к壣系幕蛏享斊穑罍蜴?zhèn)滾輪導軌，帶圓弧槽頂塊卡住環(huán)形導軌滑座側(cè)面的圓柱銷。

2. 電動推桿頂出。

3. 到位之后，垂直導向?qū)к壣系幕蛳職w位，帶圓弧槽頂塊和圓柱銷脫離。

4. 電動推桿回退。

采用此種傳動方式，如下兩個設(shè)計要點很重要：

1. 連桿需要為可調(diào)式連桿。

2. 電動推桿傳動機構(gòu)和環(huán)形導軌滑座的嚙合機構(gòu)，滾輪導軌定制，建議采用此種圓弧形嚙合形式；環(huán)形導軌滑座側(cè)面的圓柱銷，也可以采用帶軸承形式的，能更進一步延長嚙合機構(gòu)的使用壽命：

一：齒輪箱減速比

舉個例子，齒輪箱的減速比如果是50.0001：1，而輸入電氣控制系統(tǒng)中的減速比值為50：1；假設(shè)節(jié)圓周長為600mm，電機每轉(zhuǎn)50圈，那同步帶的直線移動距離會有0.06mm的誤差；500轉(zhuǎn)的話，就是0.6mm的誤差；所以減速比一定要和齒輪箱廠家仔細確認：

同步帶輪節(jié)圓周長

二：同步帶輪節(jié)圓周長，這個值決定了齒輪箱輸出軸轉(zhuǎn)一圈，同步帶的直線移動距離；如果輸入值偏小，會產(chǎn)生負的累計誤差；如果輸入值偏大，會產(chǎn)生正的累計誤差；伺服電機的高分辨率，可控制同步帶的直線移動距離，建議微調(diào)設(shè)定每個節(jié)拍的同步帶直線移動距離：

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