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EDI超純水系統(tǒng)進水水質(zhì)指標控制措施如下:進水CO2的控制。反滲透前可通過加堿調(diào)節(jié)pH值,盡可能多地去除CO2,也可通過脫氣塔和脫氣膜去除CO2。進水硬度控制。結合CO2去除,RO進水可以軟化和加堿。當進水含鹽量較高時,可加入一級反滲透或納濾結合脫鹽?!OC控制。結合其他指標要求,增加RO級別以滿足要求。濁度和污染指數(shù)的控制。濁度和污染指數(shù)是RO系統(tǒng)進水控制的主要指標之一。合格的RO出水一般都能滿足EDI超純水系統(tǒng)進水要求。
超純水的水質(zhì)直接關系到半導體成品率
在半導體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓漂洗、化學稀釋、化學機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關系到半導體的成品率,電子純水設備廠家,隨著半導體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質(zhì)量的技術要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,天津電子純水設備,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,電子純水設備安裝,就會使半導體元件生產(chǎn)的合格率下降。
超純水的“有效期”是多久?1、即取即用 超純水取水后很容易遭到環(huán)境污染,所以即取即用方式更合適。只有把超純水與環(huán)境接觸的時間縮短,才能夠獲得純度極高的超純水?! ?、存放時間 在配制高純度的化學試劑時,盡量不要使用長時間儲桶中存放的超純水,因為儲桶經(jīng)長時間使用后,會因雜質(zhì)、微生物的污染而造成水質(zhì)的劣化,儲存時間過長會導致超純水在使用時已經(jīng)不再是超純水。 3、純水儲桶需安裝空氣過濾器,防止環(huán)境因素造成的污染。
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