如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對(duì)較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對(duì)較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會(huì)有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時(shí)，能通過(guò)調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來(lái)減少?gòu)埩Α?/p>

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，廢耐火磚長(zhǎng)期回收，然后同時(shí)利用碳熱還原法和氮化對(duì)其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線(xiàn)。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

那么氮化硅陶瓷究竟有哪些性能特點(diǎn)呢？氮化硅陶瓷的主要材料是氮化硅，氮化硅的熔點(diǎn)是非常高的，廢耐火磚常期回收，可以達(dá)到攝氏2000多度。因此氮化硅陶瓷的耐熱性是非常好的。因?yàn)檠趸韪邚?qiáng)度的耐熱性，在機(jī)械制造中或者內(nèi)燃機(jī)制造業(yè)領(lǐng)域都有非常好的應(yīng)用發(fā)展前景。

氮化硅材料是在氧化鋁材料以后出現(xiàn)的一種刀具材料。它比氧化鋁材料的強(qiáng)度和斷裂韌性高，廢耐火磚長(zhǎng)年回收， 其抗彎強(qiáng)度一般可達(dá) 900~ 1 000MPa， 斷裂韌性 5~ 7MPa#m1P2 ， 硬度 91~ 93HRA， 耐熱性可達(dá)1 300~ 1 400 e ， 不易產(chǎn)生裂紋， 可以獲得穩(wěn)定的使用壽命。采用熱壓自增韌的方法可以進(jìn)一步提高氮化硅陶瓷的強(qiáng)度和韌性， 即控制燒結(jié)過(guò)程， 使一部分氮化硅晶粒發(fā)育成具有較大長(zhǎng)徑比的棒狀晶粒( 晶粒的長(zhǎng)徑比可達(dá) 3~ 8) ， 從而獲得類(lèi)似于晶須增韌的效果， 斷裂韌性可達(dá) 10. 02MPa#m1P2 。

氮化硅由于化學(xué)性能穩(wěn)定、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好，除作磨料用外，還有很多其他用途，例如：以特殊工藝把氮化硅粉末涂布于水輪機(jī)葉輪或汽缸體的內(nèi)壁，可提高其耐磨性而延長(zhǎng)使用壽命1～2倍；用以制成的GAO級(jí)耐火材料，耐熱震、體積小、重量輕而強(qiáng)度高，節(jié)能效果好。節(jié)能方面的應(yīng)用利用良好的導(dǎo)熱和熱穩(wěn)定性，作熱交換器，燃耗減少百分之20，節(jié)約燃料百分之35，南京廢耐火磚，使生產(chǎn)率提高百分之20-30。特別是礦山選廠(chǎng)用排放輸送管道的內(nèi)放，其耐磨程度是普通耐磨材料的6-7倍。以100%氮化硅制成的氮化硅質(zhì)燒成制品，基本上有兩個(gè)相。它主要由真比重為3.21的氮化硅以及某些數(shù)量真比重為2.32的二氧化硅(通常是方石英)所構(gòu)成的，其中二氧化硅是氮化硅被氧化而形成的。

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