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導(dǎo)致超純水水質(zhì)惡化的原因有哪些?1、存儲(chǔ) 儲(chǔ)存:由于超純水中溶解離子的濃度很低甚至不存在,超純水很容易從外部環(huán)境中吸收離子污染物。由低級(jí)塑料和玻璃制成的儲(chǔ)水器將溶解離子和有機(jī)物,增加水的電導(dǎo)率,電子純水設(shè)備廠家,降低水質(zhì)。因此,建議使用溶解性低的高等級(jí)聚乙烯儲(chǔ)水器?! ?、通氣口 通氣口:大多數(shù)儲(chǔ)水器都有一個(gè)排氣口,用于取水期間的空氣循環(huán)。當(dāng)通氣口吸入外部空氣時(shí),會(huì)將空氣中的CO2、細(xì)菌、顆粒和揮發(fā)性有機(jī)化合物一并吸入。這些會(huì)污染儲(chǔ)水器中超純水。因此,通氣口應(yīng)配備空氣過濾器,以防止有機(jī)物、細(xì)菌和CO2進(jìn)入儲(chǔ)水器。
EDI超純水設(shè)備運(yùn)行過程中電阻率下降的原因與進(jìn)水水質(zhì)、壓力、流量、電壓和進(jìn)水水質(zhì)的污染有關(guān),包括以下幾點(diǎn): 1、前置反滲透設(shè)備出水不合格 如果原水含鹽量較高,建議采用雙級(jí)反滲透設(shè)備設(shè)備進(jìn)行預(yù)脫鹽,其電導(dǎo)率應(yīng)保持在1~3μS/cm。若進(jìn)水CO2含量高,建議使用脫氣膜或脫氣塔去除CO2。如果pH值偏離中性太大,調(diào)整pH值,使EDI進(jìn)水pH值為7~8。 2、當(dāng)前的EDI控制系統(tǒng)存在問題 工作電流增大,產(chǎn)水水質(zhì)不斷改善。然而,如果電流在增加到頂點(diǎn)后增加,由于水電離產(chǎn)生過量的H 和OH-離子,除了再生樹脂外,大量剩余離子作為載流離子導(dǎo)電。同時(shí),由于大量載流離子在運(yùn)移過程中積累和堵塞,甚至反擴(kuò)散,唐山電子純水設(shè)備,導(dǎo)致產(chǎn)水水質(zhì)下降。
超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率,隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細(xì)度的提高,電子純水設(shè)備安裝,對(duì)超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異,就會(huì)使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。
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