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此方法適用于除去氧化膜或有機物。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短,對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少,對控制成本及環(huán)境保護有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越先進,對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響,周轉(zhuǎn)箱噴淋清洗機價格,實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
2000年成立濟南鑫能信洗凈設(shè)備有限公司,沖壓件噴淋清洗機價格,于2007年公司和山東大學(xué)合作注冊濟南巴克超聲波科技有限公司,從事超聲波清洗設(shè)備、中高壓噴洗設(shè)備的的研發(fā)、制造與銷售??偛课挥跐鲜信R港開發(fā)區(qū),總注冊資本金800萬元,標準化廠房面積13000余平方米,年產(chǎn)值4000多萬元。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機簡介
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機
槽體部分: 設(shè)備槽體分內(nèi)外兩層,內(nèi)層槽體采用2.0mm厚SUS304不銹鋼焊接成形,外槽采用1mm不銹鋼板制做,此設(shè)計既能解決傳統(tǒng)超重工件的清洗的承重問題又可避免溶液對槽體的腐蝕;
清洗成本低:可使用普通水或酒精加少許溶劑作為清洗劑,省去一定人工成本;
2. 性:采用換能器清洗效果好,超聲波功率強勁,;
3. 批量連續(xù)性:超聲波清洗設(shè)備可長時間連續(xù)工作,適應(yīng)批量生產(chǎn);
4. 節(jié)能環(huán)保:整個清洗工序為自動超聲模式,雜志均沉淀于于清洗液體中,無粉塵污染無噪音;
5. 操作方便:清洗設(shè)置操作簡單,寧波噴淋清洗機價格,設(shè)備自配底輪,可自由移動或固定;
6. 使用壽命長:設(shè)備全不銹鋼材質(zhì),美觀耐用。部件換能器采用膠接技術(shù),脫落。
設(shè)備的工作原理就是將碳氫在真空狀態(tài)下進行噴淋,與腔體內(nèi)工件淬火油冷后附著的油脂發(fā)生溶解反應(yīng),通過蒸汽浴洗、烘干等多個其他工序,終使工件表面光亮、盲孔狹縫無油污殘留。
企業(yè): 濟南巴克超聲波科技有限公司
手機: 13205411906
電話: 0531-88162175
地址: 山東省濟南市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)臨港北路5576號1號樓206室