半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

工廠裝修凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板

結(jié)構(gòu)材料：1．地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹(shù)脂或是PVC地坪，天津?qū)嶒?yàn)室凈化工程施工，電子廠房選用防靜電地坪。2．送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，天津?qū)嶒?yàn)室凈化工程公司，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。3．工廠裝修凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。4．送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，天津?qū)嶒?yàn)室凈化工程，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。濕度45-65%;GMP車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

凈化廠房的凈化車間設(shè)備：凈化車間進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝新風(fēng)過(guò)濾箱、凈化空調(diào)末端要有送風(fēng)口。必要時(shí)要安裝凈化增壓箱。凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)：回風(fēng)口、過(guò)濾初效器、中效回風(fēng)箱；凈化車間前入緩沖區(qū)：緩沖區(qū)門(mén)安裝電子互鎖，更衣處放置潔凈儲(chǔ)衣柜、空氣清新機(jī)凈化廠房裝修中人、貨物進(jìn)入凈化車間必須經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室（貨淋室），傳遞窗傳遞小物品；凈化廠房裝修中在凈化車間局部需要達(dá)到10——1000級(jí)的地方安裝垂直層流工作臺(tái)、層流罩（FFU）潔凈棚（可移動(dòng)式工作棚）、自凈器。測(cè)無(wú)塵室潔凈度用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

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