【廣告】
一般情況下,半導(dǎo)體純水設(shè)備安裝,超純水制取后不宜長期存放,應(yīng)遵循“去用”的使用理念。同時,為了保證純水和超純水的質(zhì)量,我們在取水時應(yīng)注意以下幾點:1、EDI超純水系統(tǒng)每7-10天沖洗一次,防止細菌滋生?! ?、如果長時間不適用,必須將純水機和水箱中的水全部排空?! ?、EDI超純水系統(tǒng)取水時,應(yīng)先排出初始純水和超純水,待水質(zhì)穩(wěn)定后再取水。 4、不要將EDI超純水系統(tǒng)和儲水箱放置在陽光直射的地方,以防細菌滋生。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水主要用于清洗硅片。少量水用于配制藥劑、硅片氧化的蒸汽源、某些設(shè)備的冷卻水、電鍍?nèi)芤旱呐渲?。集成電路產(chǎn)品的質(zhì)量與產(chǎn)量密切相關(guān)。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會降低PN結(jié)的耐壓力,III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化,天津半導(dǎo)體純水設(shè)備,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化。細菌高溫炭化水中的磷(約為灰分的20%~50%)會使p型硅片局部變?yōu)镹型硅片,半導(dǎo)體純水設(shè)備價格,導(dǎo)致器件性能下降。水中的顆粒,包括細菌,如果附著在硅片表面,會導(dǎo)致短路或性能惡化。可見,超純水在半導(dǎo)體行業(yè)的必要性。
原因一:顆?;蚴悄z體堵塞
進水顆粒度>5um時會造成進水流道堵塞,引起模塊內(nèi)部水分分部不均勻,從而導(dǎo)致模塊整體性能降低。
建議:在進入EDI模塊前段增設(shè)保安過濾器(<0.2um)。
原因二:有機物堵塞
當(dāng)進水有機物污染TOC或TEA含量超過設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)時,淡水室的離子交換樹脂和離子膜會發(fā)生有機物的堵塞。
建議:采用高PH值的對淡水室及濃水室循環(huán)清洗。
企業(yè): 天津開發(fā)區(qū)瑞爾環(huán)??萍加邢薰?/i>
手機: 13820515185
電話: 022-27320252
地址: 中國-天津濱海高新區(qū)海泰南道28號海泰國際產(chǎn)業(yè)基地C座