總之，非氧化物燒結(jié)助劑的使用可以降低氮化硅晶格氧，達(dá)到凈化晶格，銀川耐火磚，提高熱導(dǎo)率的目的。然而非氧化物燒結(jié)助劑也存在著原料難得，成本較高，燒結(jié)難度大、條件高等問題。因此目前非氧化物燒結(jié)助劑在高導(dǎo)熱氮化硅材料批量化制備方面還沒有廣泛的應(yīng)用。

氮化硅全陶瓷軸承優(yōu)點：a、由于陶瓷幾乎不怕腐蝕，所以，陶瓷滾動軸承適宜于在布滿腐蝕性介質(zhì)的惡劣條件下作業(yè)。b、由于陶瓷滾動小球的密度比鋼低，重量更要輕得多，因此轉(zhuǎn)動時對外圈的離心作用可降低40%，進(jìn)而使用壽命大大延長。c、陶瓷受熱脹冷縮的影響比鋼小，因而在軸承的間隙一定時，可允許軸承在溫差變化較為劇烈的環(huán)境中工作。d、由于陶瓷的彈性模量比鋼高，受力時不易變形，耐火磚長期回收，因此有利于提高工作速度，并達(dá)到較高的精度。

那么氮化硅陶瓷究竟有哪些性能特點呢？氮化硅陶瓷的主要材料是氮化硅，耐火磚常年回收，氮化硅的熔點是非常高的，可以達(dá)到攝氏2000多度。因此氮化硅陶瓷的耐熱性是非常好的。因為氧化硅高強(qiáng)度的耐熱性，在機(jī)械制造中或者內(nèi)燃機(jī)制造業(yè)領(lǐng)域都有非常好的應(yīng)用發(fā)展前景。

氮化硅材料是在氧化鋁材料以后出現(xiàn)的一種刀具材料。它比氧化鋁材料的強(qiáng)度和斷裂韌性高， 其抗彎強(qiáng)度一般可達(dá) 900~ 1 000MPa， 斷裂韌性 5~ 7MPa#m1P2 ， 硬度 91~ 93HRA，耐火磚常期回收， 耐熱性可達(dá)1 300~ 1 400 e ， 不易產(chǎn)生裂紋， 可以獲得穩(wěn)定的使用壽命。采用熱壓自增韌的方法可以進(jìn)一步提高氮化硅陶瓷的強(qiáng)度和韌性， 即控制燒結(jié)過程， 使一部分氮化硅晶粒發(fā)育成具有較大長徑比的棒狀晶粒( 晶粒的長徑比可達(dá) 3~ 8) ， 從而獲得類似于晶須增韌的效果， 斷裂韌性可達(dá) 10. 02MPa#m1P2 。

如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

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